为满足高精度平面运动的需要，提出一种由双内十字定子驱动的平面运动驱动器。利用定子的面内、面外弯振模态在驱动足处耦合形成的椭圆轨迹，从而推动动子沿x、y 方向运动。本文阐述作动器的运行机理，基于ANSYS建立定子有限元模型，优化定子结构尺寸，简并工作模态频率并使其分别为27 457.5、27 704、27 601.3 Hz，进行谐响应分析、瞬态分析和运动调节特性分析。仿真结果表明在激励电压为250 V、频率27 344 Hz时，定子驱动足上x、y、z 向振幅分别为1.5、1.4、1.6 μm，模拟出椭圆轨迹，对该作动器具有良好的运动特性加以验证，并给出定子的夹持方案，设计出作动器装配结构。

：为解决压电电机定子在设计过程中存在的定子结构尺寸难以拟定、驱动足激励变形难以最大化以及进行多目标设计时难以求得全局最优解等问题，以盆架型压电电机定子为研究对象，在以有限元法构造定子参数化模型的基础上，利用模态置信准则(modal Assurance Criterion，MAC)进行定子工作模态的筛选与捕获，采用中心复合设计法(Central Composite Design，CCD)生成采样计算点，结合克里金法(Kriging Method)搭建相关特征结构尺寸参数的响应面优化模型，并运用多目标遗传优化算法(Non-dominated Sorting Genetic Algorithm-Ⅱ，NSGA-Ⅱ)在基于响应面模型所得的设计空间内进行最优解的全局搜索。通过定子谐响应分析得到弯-纵振频差相对于“试凑法”所得结果下降30 %，且无明显干扰模态，由此验证了优化模型的正确性。瞬态分析结果表明定子驱动足的x 方向位移为6.4 μm，y 方向位移为5.48 μm，z 方向位移为6.16 μm，各相位移均有明显增长。说明根据优化设计得到的定子驱动足位移更大，三相工作模态更接近，电机运行更加平稳。