基于双内十字定子的压电宏微平面运动台研究
胡志鹏, 李晨捷, 潘文强, 丁切, 贺红林
A Piezoelectric Macro-micro Planar Motion Platform Based on a Dual-inner-cross Stator
噪声与振动控制 . 2025, (2): 243 -249 .