摘要： 为满足高精度平面运动的需要，提出一种由双内十字定子驱动的平面运动驱动器。利用定子的面内、面外弯振模态在驱动足处耦合形成的椭圆轨迹，从而推动动子沿x、y 方向运动。本文阐述作动器的运行机理，基于ANSYS建立定子有限元模型，优化定子结构尺寸，简并工作模态频率并使其分别为27 457.5、27 704、27 601.3 Hz，进行谐响应分析、瞬态分析和运动调节特性分析。仿真结果表明在激励电压为250 V、频率27 344 Hz时，定子驱动足上x、y、z 向振幅分别为1.5、1.4、1.6 μm，模拟出椭圆轨迹，对该作动器具有良好的运动特性加以验证，并给出定子的夹持方案，设计出作动器装配结构。

关键词: 振动与波, 平面运动驱动器, 双内十字式定子, 机电耦合模型, 动力学分析