微机械谐振器可变锚点结构能量耗散特性分析
张厦,张文明
Energy Dissipation Analysis of Micromechanical Resonators with Variable Anchor Structures
噪声与振动控制 . 2015, (5): 39 -42 .  DOI: 10.3969/j.issn.1006-1335.2015.05.007