噪声与振动控制

噪声与振动控制 ›› 2015, Vol. 35 ›› Issue (5): 39-42.DOI: 10.3969/j.issn.1006-1335.2015.05.007

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微机械谐振器可变锚点结构能量耗散特性分析

张厦，张文明   

  1. （ 上海交通大学  机械系统与振动国家重点实验室，上海  200240 ）
  • 收稿日期:2015-01-22 修回日期:2015-02-06 出版日期:2015-10-18 发布日期:2015-10-18
  • 通讯作者: 张文明

Energy Dissipation Analysis of Micromechanical Resonators with Variable Anchor Structures

  • Received:2015-01-22 Revised:2015-02-06 Online:2015-10-18 Published:2015-10-18

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摘要：

微机械谐振器在振动过程中总会产生能量耗散，并且具有诸如空气阻尼耗散、热弹性阻尼耗散、锚点结构耗散、表面耗散等诸多耗散机制，其中锚点结构耗散是一种主要的能量耗散机制。应用完美匹配层方法，将无限大区域入射波的吸收问题转化到有限区域内进行。针对中心支撑圆盘体模态谐振器，设计两种不同的锚点支撑结构，并分别讨论其几何结构的变化对谐振器固有频率和锚点损耗品质因子的影响。结果证明通过调整锚点结构，可以大幅度提高谐振器的锚点耗散品质因子，提高能量的利用效率。

关键词: 振动与波, 微机械谐振器, 锚点耗散, 完美匹配层, 结构优化

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